長光華大建成基于熱蒸發(fā)技術(shù)的光學(xué)鍍膜平臺并成功鍍制首款精密光學(xué)濾光片

發(fā)布時間：2023-07-07 19:11:59

2023年7月7日，長春長光華大智造測序設(shè)備有限公司（以下簡稱長光華大）使用剛剛完成安裝調(diào)試的熱蒸發(fā)鍍膜設(shè)備成功鍍制了三片時空組學(xué)切片掃描儀的明場激發(fā)濾光片，其核心指標(biāo)光譜特性（OD 6和透過率95%）、透射波前、表面疵病、膜層牢固度均達(dá)到設(shè)計(jì)要求。由此標(biāo)志著長光華大建成了基于熱蒸發(fā)技術(shù)的光學(xué)鍍膜平臺并掌握了相關(guān)高端光學(xué)鍍膜技術(shù)。

光學(xué)鍍膜是指在光學(xué)零件表面涂鍍一層(或多層)金屬(或介質(zhì))薄膜的工藝過程，目的是為了達(dá)到減少或增加光的反射、分束、分色、濾光、偏振等要求。光學(xué)鍍膜元件是光電儀器設(shè)備的重要元件，往往決定著后者的功能和性能指標(biāo)。華大智造的基因測序儀、系列顯微鏡等產(chǎn)品均需使用高反、減反、分光、截止、帶通等幾乎所有種類的濾光片。因此建立自主可控的光學(xué)鍍膜能力對公司產(chǎn)品研發(fā)制造具有重要意義。

2022年5月17日，華大智造EMT會議批準(zhǔn)了“長光華大智造關(guān)于自主建立高端光學(xué)鍍膜平臺的請示”，長光華大與華大智造總部設(shè)備采購管理部門迅速開展設(shè)備尋源采購工作。經(jīng)過一年多的努力，全面完成了鍍膜實(shí)驗(yàn)室規(guī)劃和建設(shè)、設(shè)備調(diào)研采購、技術(shù)團(tuán)隊(duì)組建、關(guān)鍵濾光片膜系設(shè)計(jì)，以及首款濾光片鍍膜工藝開發(fā)和正式件鍍膜。

首款精密光學(xué)濾光片鍍膜成功，標(biāo)志著華大智造初步建立起了自主可控的鍍膜平臺和團(tuán)隊(duì)，掌握了高端光學(xué)鍍膜技術(shù)，填補(bǔ)了光學(xué)設(shè)備及器件研發(fā)制造的能力空白，有利于解決高端鍍膜產(chǎn)品單一供應(yīng)商和替代進(jìn)口問題。據(jù)悉，磁控濺射鍍膜設(shè)備也已完成招標(biāo)采購，預(yù)計(jì)2024年4月到貨，屆時長光華大將具備為測序儀、系列顯微鏡等全部光學(xué)產(chǎn)品提供全套濾光片的能力，同時可承接外部客戶的高端鍍膜需求。高端光學(xué)鍍膜能力的建立將對華大智造乃至華大集團(tuán)的高端儀器裝備發(fā)展產(chǎn)生重要推動作用。（苗亮供稿）